发表时间(jiān): 2021-09-06 11:30:38
作者: 成都B体育和朗锐芯(xīn)科(kē)技发展有限公司
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测控(kòng)设备领域上(shàng)我国始终落后与国外发达国家,先进设(shè)备都需要从国外购买,去(qù)年疫情贸(mào)易进出口的(de)封锁,让(ràng)国内(nèi)买不到国外先进设备(bèi)而无法进行(háng)产品制造,也大多人明白将(jiāng)中国制造转变为中国“智”造迫在眉睫。而测控系统作(zuò)为打造国之重器(qì)的重要技术装(zhuāng)备,其国产化进(jìn)程更是刻不容(róng)缓。
测控(kòng)设备(bèi)国产化,不(bú)仅可将用户需(xū)求体现在(zài)产品上,更多地(dì)提(tí)高可用性,还能全面提高国产(chǎn)测控(kòng)设备(bèi)的核心竞(jìng)争力,实现(xiàn)弯道超(chāo)车。
虽前景光明(míng),但测控设备的(de)国产(chǎn)化(huà)绝非易(yì)事,其包括系统级的国(guó)产化、OS级的国产化和芯片级的国产(chǎn)化“三步走战略(luè)”,涉(shè)及(jí)软件、硬件(jiàn)、算法等众多层面,如(rú)何(hé)在保证系统功能(néng)和可靠性(xìng)的同(tóng)时(shí),快速实现国产化、自主可控的(de)测控系(xì)统,打造一张张闪亮的中国“智”造名片,成为各国(guó)内企业亟待解决的难(nán)题。
纵观半导体的制造流(liú)程(chéng),晶圆针测是非常重要的一环。检测晶圆的(de)响(xiǎng)应(yīng)参数进行特性分(fèn)类,需通过电压输出激励待测晶圆,再由高速的模拟量监测给(gěi)电过程中的响应(yīng)特性,同(tóng)时需要大(dà)量DiDo的开关量控制探针台(tái)位置。
针对上(shàng)述需(xū)求(qiú),为该(gāi)晶圆针测环节(jiē)提(tí)供了一款具有16位高分辨率和高达1M的采集速度,并可(kě)同时(shí)输出两路波形(xíng)的高速采集(jí)与控制卡(PCIE-1816H),另外依据不同(tóng)的数字控制点选配了多款控(kòng)制卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基于(yú)三(sān)大维度,成功助力晶圆检测设备实现国(guó)产(chǎn)化。
在智能制造的大趋势下,数控机床正向着高精度、高速度(dù)、高生产效(xiào)率(lǜ)的方向发展,这对机(jī)床(chuáng)的动态(tài)特性提出了更(gèng)高的要求(qiú)。此(cǐ)外,通过(guò)模态测试(shì)与分析建立(lì)机床的结构动力学模型,也成(chéng)为优化机床设(shè)计与性能、及早发现潜在问题的有效途(tú)径。
对(duì)于机床的模态分(fèn)析(xī)而言,更是一项(xiàng)“精(jīng)细活(huó)”。其主要是使用力锤、激振(zhèn)器(qì)或者激振台产生脉冲冲(chōng)击,利用加速度传感器(qì)在多点进(jìn)行(háng)同(tóng)步(bù)响应信号(hào)的(de)采集,再用数学(xué)分析方法计算机械(xiè)结构(gòu)的固有振动特(tè)性,每一个模态都有特定(dìng)的固有频率、阻尼(ní)比和模态振型。这套系统此前一直由国外公司提供,不仅面(miàn)临着(zhe)市场(chǎng)供货不足的问题(tí),其高昂的(de)价格也让人望(wàng)而却步。
除此之外(wài),国(guó)外模态试验系统也面临着技(jì)术(shù)瓶颈(jǐng)。为保(bǎo)证实验数据精度和振型辨识要求,需要在数控(kòng)机床的主轴、立柱和工作台布置几十个测点,每个测点采用XYZ三向加速度传(chuán)感器,采集(jí)通(tōng)道高达100路以(yǐ)上。国外系统的模态测试系统一般仅有(yǒu)32通道,只能(néng)采取分区测试的方法,不(bú)仅非(fēi)常(cháng)耗时,而(ér)且由于(yú)各区域的测试不是在同(tóng)一激励下进行(háng)的,后续分(fèn)析计算也极为复杂。
针(zhēn)对数控机床模(mó)态试验(yàn),为客户量身(shēn)打造了一套104通道同步振动(dòng)模态测试系统。该系统采用13张PCIE-1803,每片PCIE-1803支持8路信号,共104路,使用内部同步总线可(kě)实现纳秒级(jí)同步时间,误差小于100ns。
此外通过增加主机系统,可以实现200通道以上的同步采集。应变片信(xìn)号采集通(tōng)过(guò)2片PCIE-1813 实(shí)现,系(xì)统选用IPC-623BP机(jī)箱配合(hé)PCE-7B17底板支持(chí)15片PCIE板卡。软件兼备加速规(guī)传感器的(de)灵(líng)敏(mǐn)度、供电方式、耦合方式、采样频率等(děng)设置,同时具有数据采集、曲线显(xiǎn)示和数据(jù)保存的功能,实(shí)为打造系统级国产化的(de)理想路径。有(yǒu)效解决了国外模态(tài)测试系统价格高、备件(jiàn)不足的弊端,保证了系(xì)统的精度和稳定性,在与客户(hù)的密切合作与快(kuài)速服务中,高效(xiào)完成国产化替代的进程(chéng)
测控设备国产(chǎn)化“三(sān)部曲”,第一曲“系统级国产化”已完美谢幕。放眼未来,国产化之路任重道(dào)远,仍有诸多挑(tiāo)战等待突破,等待我们探索其背(bèi)后的机遇。下一期“OS级国产(chǎn)化”,我们将带你揭(jiē)开中国(guó)操作系(xì)统国产化的序幕,敬请关注!